搜索

中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所《测控技术》杂志社版权所有
地址:北京市亦庄经济技术开发区经海二路航空工业科技商务园9号楼 邮编:101111 
编辑部:010-65667497;
广告部:010-65667357;

发行部:010-65667497;
网管部:010-65667357;

扫码关注微信公众号

本网站为《测控技术》指定官方网站

Coypright◎2012-2018 北京长城航空测控技术研究所      京ICP备09097201号-2

按应用领域分类

按应用领域分类

按应用领域分类

测控技术

Spectrum仪器推出集发生器与数字化仪于一体的可携带式产品
Allied Vision发布新款Manta系列相机,搭载索尼IMX540、IMX541和IMX542传感器
研华WISE-PaaS/InsightAPM数字孪生平台,洞见企业数字化未来
华北工控:以高品质计算机,助力机器视觉在制造业发光发热
Pickering Interfaces公司发布两款新的第三代PXI Express(PXIe)机箱 为PXI应用提供最高的灵活性
艾讯科技推出DIN-rail导轨式模块化网络应用平台iNA600
研祥发布COM-1502-FT 新产品上市
发布时间:
2021-01-18 13:50
福禄克TiS75+/55+红外热像仪重磅上市

知识工程

微视频

集智达网闸应用于热力行业安全防护解决方案
向高端加速从柔性生产要竞争力
发布时间:
2021-01-20 10:15
虹科IO-Link Wireless解决方案的多种应用
倍福的XPlanar平面磁悬浮输送系统负责输送等离子体表面处理过程中的工件
Maxim Integrated推出行业最小的太阳能收集方案
虹科方案:如何对来自不同地方的数据集进行集中整理
案例 | 迈​来​芯​​:借助NI PXI平台实现​了​IC​特性​分析​测试​的​全球​标准化
力控点亮智慧运维
发布时间:
2020-12-30 11:17

测控技术

知识工程

微视频

集智达网闸应用于热力行业安全防护解决方案
向高端加速从柔性生产要竞争力
发布时间:
2021-01-20 10:15
虹科IO-Link Wireless解决方案的多种应用
倍福的XPlanar平面磁悬浮输送系统负责输送等离子体表面处理过程中的工件
Maxim Integrated推出行业最小的太阳能收集方案
虹科方案:如何对来自不同地方的数据集进行集中整理
案例 | 迈​来​芯​​:借助NI PXI平台实现​了​IC​特性​分析​测试​的​全球​标准化
力控点亮智慧运维
发布时间:
2020-12-30 11:17

测控技术

知识工程

微视频

中国航空工业集团公司   中航高科智能测控有限公司  北京瑞赛长城航空测控技术有限公司   中国航空工业技术装备工程协会  中国航空学会

中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 《测控技术》杂志社版权所有
地址:北京市亦庄经济技术开发区经海二路航空工业科技商务园9号楼 邮编:101111 
编辑部:010-65667497;
广告部:010-65667357;

发行部:010-65667497;
网站管理部:010-65665345

Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统

浏览量
【摘要】:
Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。
-高通量系统以万亿分之一的水平在线检测关键的AMC

加利福尼亚州圣克拉拉市2020年3月25日 /美通社/ -- Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。


Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括:

  • 针对Picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题
  • Picarro SAM系统进行过精心优化——系统性能符合Picarro Semi系统规格

新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了SAM的显着性能优势,使其在很短的时间内达到万亿分之几(ppt)的检测灵敏度,并能快速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。这使得SAM成为在线实时AMC监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面,可进行各种图表和趋势分析。

SAM可以配置为从8个或16个端口采样,并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸,这三个关键AMC会影响半导体晶圆的产量。展望未来,我们将根据Picarro的半导体产品路线图为其它气体提供SAM系统。

SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析,以帮助客户更准确地快速识别AMC事件的位置,从而允许采取更快的纠正措施,以提高与AMC相关的晶圆产量。

关于Picarro:

Picarro为实时AMC监测提供行业领先的解决方案。与现有的AMC测量技术(例如离子迁移谱(IMS)和离子色谱法)相比,其光腔衰荡光谱技术(CRDS)具有明显的优势。 Picarro的SI2000系列分析仪可在数秒而不是数小时内对快速洁净室中的污染物进行响应。 Picarro分析仪具有万亿分之一(ppt)含量水平的实时连续分析功能,可为无尘室、FOUP和晶圆厂设备中的AMC监控提供污染事件的预警。有关Picarro Inc.的其它信息,请访问semi.picarro.com或我们的Twitter。

Photo - https://mma.prnewswire.com/media/1137282/Picarro_SAM_system.jpg 
Logo - https://mma.prnewswire.com/media/1137283/Picarro_Logo.jpg  

知识工程

按照应用领域分类

按照技术领域分类

视频展示

相关文件

暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。